ASAN-SI, Chungcheongnam-Do, Corea del Sud, 23 gennaio 2024—PROTEC MEMS Technology (PMT), uno dei principali fornitori mondiali di schede con sonda wafer a semiconduttore, ha ordinato un sistema di esposizione senza maschera LITHOSCALE® da EV Group (EVG), un fornitore leader di apparecchiature per l’incollaggio di wafer e di litografia per i mercati MEMS, nanotecnologie e semiconduttori. Il sistema LITHOSCALE sarà installato presso la sede centrale di PMT ad Asan-si, Chungcheongnam-Do, Corea del Sud, dove sarà utilizzato nella produzione di schede sonda di prossima generazione basate su MEMS per test a livello di wafer di NAND avanzate, DRAM e High Dispositivi di memoria di larghezza di banda (HBM).
PROTEC MEMS Technology (PMT) ed EV Group firmano un accordo sulla litografia senza maschera per la produzione avanzata di schede con sonda di memoria wafer. Qui sono mostrati da sinistra a destra il signor Yong-Ho Cho, CEO di PMT, e il signor Young-Sik Yun, direttore generale di EV Group Kore
“La produzione di schede con sonda a passo fine comporta numerose fasi di modellazione litografica, che possono aumentare significativamente i costi di proprietà”, ha affermato il dottor Yong-Ho Cho, CEO di PMT. “Possiamo ottenere notevoli risparmi sui costi, uno sviluppo del processo più rapido e migliori prestazioni del processo, passando dalla litografia tradizionale al prodotto di esposizione senza maschera LITHOSCALE di EV Group. Attendiamo con impazienza future collaborazioni con EVG sfruttando LITHOSCALE e altre soluzioni di processo per la produzione avanzata di sonde card”.
Incorporando la tecnologia MLE™ (esposizione senza maschera) di EVG, LITHOSCALE soddisfa le esigenze di litografia per mercati e applicazioni che richiedono un elevato grado di flessibilità o variazione di prodotto. LITHOSCALE affronta i colli di bottiglia legacy combinando una potente elaborazione digitale che consente il trasferimento dei dati in tempo reale e l’esposizione immediata, un’elevata risoluzione di strutturazione e la scalabilità del throughput. È ideale per la prototipazione rapida, garantendo tempi di consegna e cicli di ricerca e sviluppo rapidi.
La produzione di MEMS, in particolare, pone sfide alla litografia a causa dei suoi complessi mix di prodotti, che fanno aumentare i costi generali delle maschere. L’approccio senza maschera di LITHOSCALE elimina i materiali di consumo legati alla maschera, rispondendo alla domanda di modelli a basso costo di proprietà nella produzione di schede per sonde wafer. Inoltre, l’elevata profondità di fuoco e l’alta risoluzione (inferiore a 2 micron L/S) di LITHOSCALE consentono la creazione di modelli senza maschera dello strato di ridistribuzione denso (RDL) e tramite connessioni, che supporta il ridimensionamento tecnologico per schede sonda a passo fine.
Secondo Young-Sik Yun, direttore generale di EV Group Korea, “I test a livello di wafer con le schede sonda sono un processo essenziale per migliorare la resa della produzione dei dispositivi e ridurre il costo complessivo dei test per die. LITHOSCALE offre una combinazione unica di alta risoluzione, elevata flessibilità per gestire numerosi progetti di prodotti diversi e bassi costi di proprietà, rendendolo una soluzione ideale per la produzione di schede con sonde wafer a passo fine. Siamo lieti di supportare PMT nei suoi sforzi volti ad espandere il proprio portafoglio di prodotti e ad abbreviare i cicli di sviluppo”.
Il rivoluzionario sistema di esposizione senza maschera LITHOSCALE® di EV Group risponde alle esigenze di litografia per mercati e applicazioni che richiedono un elevato grado di flessibilità o variazione di prodotto. Fonte: Gruppo EV.
Informazioni sul gruppo EV (EVG)
EV Group (EVG) è un fornitore leader di apparecchiature e soluzioni di processo per la produzione di semiconduttori, sistemi microelettromeccanici (MEMS), semiconduttori compositi, dispositivi di potenza e dispositivi nanotecnologici. I prodotti chiave includono l’incollaggio di wafer, la lavorazione di wafer sottili, la litografia/litografia con nanoimpronta (NIL) e apparecchiature metrologiche, nonché rivestimenti fotoresist, detergenti e sistemi di ispezione. Fondato nel 1980, EV Group fornisce servizi e supporta un’elaborata rete di clienti e partner globali in tutto il mondo. Maggiori informazioni su EVG sono disponibili su www.EVGroup.com.
Informazioni sulla tecnologia MEMS PROTEC
PROTEC MEMS Technology Inc. (PMT), un produttore di dispositivi di ispezione di semiconduttori, è stata fondata nel maggio 2004 come Microfriend Inc. ed è stata inserita nel KOSDAQ nel dicembre 2016. Nel marzo 2023, Microfriend Inc. ha cambiato nome in PROTEC MEMS Technology Inc. (PMT). PMT è un produttore leader e competitivo in costante crescita, che ha come attività principale le schede sonda di nuova generazione basate sulla tecnologia MEMS. Le schede sonda MEMS, il prodotto principale di PMT, sono un dispositivo di consumo di alto valore utilizzato nel processo di ispezione finale per wafer semiconduttori. Le schede sonda MEMS sono sviluppate con la tecnologia MEMS di PMT e sono attualmente prodotte con substrati ceramici di livello 12 pollici per applicazioni di memoria. PMT è un fornitore di soluzioni non solo per le schede sonda, ma anche per diversi prodotti di test relativi alla tecnologia con applicazioni MEMS.
Per ulteriori informazioni, visitare la home page di PMT: www.pmt23.com.
